LUFTLAGER

Fallstudie: Vollcarbon-Luftlager in Hochtemperaturanwending

IBS unterstützte SparkNano bei seiner Hochtemperatur-Spatial-ALD-Anwendung durch die Integration maßgeschneiderter Vollcarbon-Luftlager, die Temperaturen von bis zu 250 °C standhalten, eine partikelfreie Produktionsumgebung aufrechterhalten und Verunreinigungen durch Fette verhindern.