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Ihr Vorteil. Unsere Mission.

Wir haben einzigartige Herausforderungen mit unseren Kunden gelöst. Lesen unten weiter über einige der Lösungen, die wir geschaffen haben.

 

Fallstudien

Inspektion von Sensorchips

ALICIA wurde entwickelt, um die 15.000 Sensorchips zu vermessen und zu montieren. ALICIA 1 bestand den Abnahmetest am CERN, und sieben weitere Maschinen wurden ausgeliefert.

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Qualifizierung von Drehtischartefakten

Eine Drehbewegung mit Nanometergenauigkeit wird für Röntgentomographie angewendet. Das Kalibrierungsverfahren verbesserte die Rückverfolgbarkeit und erzielte erhebliche Kosteneinsparungen.

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Röntgentomographie

Das Modul ermöglichte axiale Spannungskraft zwischen -500 und 400N bei 300 K bis 1.000 K, bei radialem Asynchronfehler unter 200nm und linearer Positionsregelung von 100nm.

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Nano CMM

Das ISARA-Nano-CMM erfasst die vollständige 3D-Formmessung mit Nanometerauflösung und misst Kontaktwinkel bis + und – 90 Grad, was mit optischen Verfahren nicht möglich ist.

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SEM-Ausrichtung

Eine intelligente Datenlösung wurde implementiert, bei der die automatisierte Weiterleitung von Messdaten eine kritische Begrenzung der Genauigkeit beseitigt und menschliche Fehler entfernt wurden.

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Prüfung von Klebeverbindungen

Ein Instrument zur Durchführung von Zug-, Scher- und Biegeversuchen wurde entwickelt. Durch Plastizitätskurven können Versagensmechanismen verstanden und Versagenskriterien ausgewählt werden.

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Inspektion von Sensorchips

Im Rahmen der Aufrüstung des ALICE-Detektors benötigte CERN eine Montagemaschine für Sensormodule. ALICIA wurde entwickelt, um die 15. 000 Sensorchips, die den neuen Detektor bilden, zu vermessen und zu montieren. In enger Zusammenarbeit mit den weltweiten CERN-Teams konnte die Maschine mit der Weiterentwicklung der Sensor-Chip-Technologie mithalten und wechselnde Anforderungen von der Chip-Größe bis hin zur Positioniergenauigkeit und Testprotokollen berücksichtigen. Der gesamte Montage- und Prüfvorgang eines Sensormoduls erzeugt 0,5 Terabyte an Informationen. Die Erfassung und Verarbeitung dieser großen Datenmenge war eine zusätzliche Herausforderung, die gelöst wurde. Die erste Maschine, ALICIA 1, hat den Abnahmetest vor Ort am CERN bestanden, seitdem hat IBS sieben weitere Maschinen an Standorte rund um den Globus ausgeliefert.

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Sensor-chip-inspection-CERN

Qualifizierung von Drehtischartefakten

Es war die Messung hochpräziser Kalibrierungskugeln mit einer Unsicherheit von weniger als 10 nm erforderlich. Für die Röntgentomographie, die von führenden Synchrotrons durchgeführt wird, wird eine Drehbewegung mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich angewendet. Das Kalibrierungsverfahren ermöglichte die Optimierung der Artefakt-Auswahl, wodurch die Rückverfolgbarkeit verbessert und erhebliche Kosteneinsparungen erzielt wurden.

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Qualifizierung-von-drehtischartefakten

Röntgentomographie

Eine führende wissenschaftliche Forschungsgruppe benötigte einen Testaufbau, der in einem Mikro-Röntgen-Tomografen eingesetzt werden sollte. Die zu untersuchenden Proben mussten thermisch und mechanisch mit synchroner Rotation beansprucht werden. Das gelieferte Modul ermöglichte es, eine axiale Spannungskraft zwischen -500 und 400N bei Temperaturen von 300 K bis 1.000 K aufzubringen, wobei ein radialer Asynchronfehler unter 200nm und eine lineare Positionsregelung von 100nm beibehalten wurde. Dieses einzigartige System ermöglichte es, bahnbrechende Materialforschung zu betreiben.

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X-Ray-Tomography

Nano CMM

Das Forschungsinstitut benötigte ein Nano-CMM zur Messung von Freiformoptiken mit hohem Aspektverhältnis, die für Synchrotrons verwendet werden. Das ISARA-Nano-CMM kann die vollständige 3D-Formmessung mit einer Auflösung im Nanometerbereich erfassen. Da es sich bei ISARA um ein Kontaktmesssystem mit einem Touch-Sensor mit extrem geringer Kraft handelt, kann es Kontaktwinkel von bis zu + und – 90 Grad messen, was mit optischen Verfahren nicht möglich ist.

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Nano-CMM

SEM-Ausrichtung

Für SEM-Optiken wurde ein automatisiertes Ausrichtungsmodul benötigt. Im Bestreben, die Auflösung dieser Mikroskope kontinuierliche zu verbessern und kleinere messbare Entfernungen mit möglichst geringen Verzerrungen zu schaffen, wurde ein neues Mikroskop geplant. Die vorhandenen Werkzeuge für die Ausrichtung waren nicht mehr genau genug. Das neue Werkzeug musste in die aktuellen Verfahren des Kunden passen. Es wurde eine intelligente Datenlösung implementiert, bei der die automatisierte Weiterleitung von Messdaten eine kritische Begrenzung der Genauigkeit beseitigt. Potenzielle menschliche Fehler wurden aus dem Prozess entfernt und ein automatisiertes Tracking der Qualitätsdaten implementiert.

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SEM-Alignment

Prüfung von Klebeverbindungen

Es wurde ein Instrument benötigt, das die Versagensmechanismen von Klebstoffen testen und die zulässige Spannung der Klebeverbindungen ermitteln sollte. Die Klebstoffe sollten über die Zeit und unter einer Reihe von Kraftbedingungen getestet werden. Es wurde ein Instrument zur Durchführung von Zug-, Scher- und Biegeversuchen entwickelt. Durch die Kenntnis der Plastizitätskurven können Versagensmechanismen verstanden werden. Auf diese Weise wurde die Auswahl von Versagenskriterien auf der Grundlage des Versagensmodus ermöglicht.

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GlueTool