Vakuumvorgespannte Luftlager

Ein vakuumvorgespannte Luftlager kombiniert Luftdruck und Vakuum, um eine präzise Steuerung der Flugehöhe und Steifigkeit des Spaltes zu ermöglichen. Mittels poröser Medien wird die Luft gleichmäßig über die Lagerfläche verteilt, wodurch ein reibungsfreier dünner Luftfilm entsteht. Der andere Teil der Lagerfläche ist für das Vakuum vorgesehen, das eine Gegenkraft erzeugt, die das Lager näher an die Führungsfläche zieht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit eines Gegenlagers oder einer zusätzlichen Masse und es kann nur eine flache Führungsfläche verwendet werden. Durch Einstellen des Luft- und Vakuumdrucks lassen sich die Flugehöhe und die Steifigkeit feinabstimmen. Dies führt zu einer höheren Belastbarkeit, einer verbesserten Dämpfung und einer zuverlässigen Leistung für Hochgeschwindigkeits- und Ultrapräzisionsanwendungen.

Vakuumvorgespannte Luftlager werden in typischer Weise eingesetzt, wenn keine Gegenlagerung oder Gegenkraft möglich ist. Dies ist beispielsweise der Fall, wenn ein Luftlager auf dem Kopf stehend verwendet werden muss oder wenn die Montage einer Gegenlagerung oder Gegenkraft schwierig oder unmöglich ist. In solchen Situationen bieten sie reduzierte Systemkosten und Komplexität. Sie werden auch dort eingesetzt, wo eine Substratglättung von Vorteil ist, beispielsweise bei der Inspektion oder beim Drucken. Vakuumvorgespannte Luftlager können in denselben Anwendungen und Branchen wie flache Luftlager eingesetzt werden, zum Beispiel:

• Halbleiterwafer-Bearbeitung
• Messtechnik und Inspektionsgeräte
• Koordinatenmessgeräte
• Präzisionswerkzeugmaschinen
• Forschungs- und Entwicklungsinstrumente
• 3D-Drucksysteme

Wir helfen Ihnen gerne dabei, das perfekte vakuumvorgespannte Luftlager für Ihre spezifische Anwendung zu finden. Kontaktieren Sie uns direkt.

Wie bei regulären Luftlagern sind auch für die optimale Leistung von vakuumvorgespannte Luftlagern flache und glatte Führungsflächen mit einer empfohlenen Oberflächengüte von 0,4 Ra in µm erforderlich. Gängige Oberflächenmaterialien sind:

• Granit
• Hartbeschichtetes Aluminium
• Keramik
• Glas
• Edelstahl
• Beschichteter Stahl

Sie fragen sich, ob Ihre Bedingungen für vakuumvorgespannte Luftlager geeignet sind? Wir helfen Ihnen gerne bei der Auswahl des richtigen vakuumvorbelasteten Luftlagers. Kontaktieren Sie uns direkt.

Nein, nicht in alle Richtungen. Horizontal montierte vakuumvorgespannte Luftlager bieten eine hervorragende Unterstützung für vertikale Lasten, können jedoch keine Lasten in horizontaler, rotatorischer oder anderer Richtung aufnehmen. Um mehrere Lastrichtungen zu unterstützen, ist eine Kombination aus Luftlagern oder eine spezielle geometrische Konfiguration erforderlich. Zum Beispiel Halterungen oder Führungen.

Fragen Sie sich, ob Ihre Anwendung für vakuumvorgespannte Luftlager geeignet ist? Wir unterstützen Sie gerne bei der Systemauslegung und der Auswahl des richtigen vakuumvorbelasteten Luftlagers. Kontaktieren Sie uns direkt.

Luft: vakuumvorgespannte Luftlager benötigen typischerweise:

• Saubere, trockene, gefilterte Luft, regulierter Druck, typischerweise zwischen 2 und 7 bar.

Der normale Betriebsdruck beträgt typischerweise 4,1 bar.

• Stabiler Durchflussbereich von 0,97-1,36 NLPM, abhängig von der Anzahl und Art der verwendeten Lager.

Ölfreie Kompressoren oder zentralisierte industrielle Luftsysteme sind gängige Quellen für eine gute Luftversorgung.

Vakuum: Die spezifischen Anforderungen hängen von der gewünschten Vorspannung, der Lagergröße und der Anwendung ab, aber als Faustregel gilt:

• Der normale Betriebsvakuumdruck beträgt typischerweise 0,05 MPa.
• Je größer der Durchmesser der Vakuumleitung ist, desto besser ist die zu erwartende Leistung unter dynamischen Bedingungen.
• Stabiler Vakuumdurchflussbereich von 0,49-0,68 NLPM, abhängig von der Anzahl und Art der verwendeten Lager.

Die Vakuumdurchflussrate beträgt etwa 50 % der Luftdurchflussrate, da sie als geschlossener Ring fungiert, in dem die Hälfte des Stroms nach außen in die Umgebung und die andere Hälfte nach innen in die Vakuumkammer fließt.

Fragen Sie sich, ob Ihre Bedingungen für vakuumvorgespannte Luftlager geeignet sind? Wir helfen Ihnen gerne bei der Auswahl des richtigen vakuumvorbelasteten Luftlagers. Kontaktieren Sie uns direkt.

Es ist eine Flexurhalterung erforderlich, die eine kontrollierte Fixierung gewährleistet. Diese Flexurhalterungen bieten bidirektionale Steifigkeit, einen niedrigen Drehpunkt und eine äußerst feine Winkelverstellung. Dadurch bleibt das Lager präzise positioniert und kann dennoch die winzigen Selbstausrichtungsbewegungen ausführen, die für die korrekte Einrichtung der Vakuumvorspannung und des Luftfilms erforderlich sind.

Benötigen Sie Hilfe bei der Montage Ihrer vakuumvorgespannte Luftlager? Wir helfen Ihnen gerne beim Einstieg in die Welt der vakuumvorbelasteten Luftlager. Kontaktieren Sie uns direkt.