Wenn Sie in der Produktion eine Qualitätskontrolle der Oberflächenmerkmale im Mikro- und Nanobereich durchführen müssen, bietet die Interferometrie Vorteile wie berührungslose Messung, hohe Geschwindigkeit und Präzision. Auch bei Messobjekten die Abstufungen oder Freiformen enthalten, können Sie durch Interferometrie die Daten erhalten, die Sie benötigen.

Strukturierte Oberflächen, die für eine bestimmte Funktion ausgelegt sind sowie unbeabsichtigte Merkmale wie Oberflächenschäden oder unerwünschte Partikel, spielen bei immer präziseren Produkten eine entscheidende Rolle. Um eine effektive Produktion zu unterstützen werden Oberflächendaten just-in-time benötigt. Wir liefern mit unseren Interferometer Lösungen, die benötigten Messdaten genau dann, wenn Sie diese benötigen.

Unsere Systeme bieten die Messfunktion, die Sie benötigen, inclusive der Möglichkeit, sie direkt in Ihre Produktionsumgebung zu integrieren.

Auf einen Blick

  • Automatische Inline-Messung in 1 Sek.
  • Merkmalsextraktion.
  • Vom Benutzer wählbare Stichprobe, Trenddiagramme und Toleranzeinstellungen. Qualitätsberichte.
  • TCP-IP-Kommunikation für die Industrie 4.0-Integration.
  • Optionale Tische für die X-, Y- und Z-Positionierung.
  • Optionale Pendelwalzen für Rolle-zu-Rolle-Anwendungen
Structured surfaces
Strukturierte Oberflächen
Electronics 1-1
Elektronik
Microfluidics-3
Mikrofluidik
Particle inspection
Partikelinspektion
Driver name
AR2 AR5 AR10 AR20 AR50
Z range (μm) 96 14 2,4 1,6 0,9
FOV per capture (mm) 2,8 x 2,8. 1,1 x 1,1 0,55 x 0,55 0,28 x 0,28 0,11 x 0,11
Z resolution (μm) 0,002 0,002 0,002 0,002 0,002
Time to result (sec) 1,5 (0,9 measurement +0,6 calculation) 1,5 1,5 1,5 1,5
Working distance (mm) 34 34 33,5 20 13
Optional dancer Yes Yes Yes No No
Opional x,y,z stages Yes Yes Yes Yes Yes
* A probe is also refered to as sensor / F.S. = full scale
AR2 AR5 AR10 AR20 AR50
Application example

ARINAA_PET_IMI

Produktionslinie für gedruckte Elektronik -Ein AR5-System wurde in eine Linie zur Herstellung gedruckter Elektronik für Automobilanwendungen integriert. Laserstrukturen von 100 Nano- bis 1 Mikrometer Tiefe werden anhand von Toleranzwerten zur Steuerung des Laserprozesses bewertet.

LR_IBS_Arinna_Close_2

Wie funktioniert das ARINNA Interferometer?

Wie erreichen Sie die Kontrolle von Oberflächenmerkmalen im Nanobereich in der Massenproduktion mit der Leichtigkeit und Effizienz, die Sie benötigen?

ARINNA ist ein Hochgeschwindigkeitsinterferometer, das die Vorteile der Messung von Oberflächen im Nanometerbereich mit Robustheit und einem geringen Platzbedarf kombiniert, mit dem es genau dort Inline messen kann, wo Sie es benötigen. Während Interferometer den Vorteil von Geschwindigkeit, Genauigkeit und zerstörungsfreier Messung bieten, gibt es immer Einschränkungen bei Stufenstrukturen und verrauschte Umgebungen. Nicht so bei ARINNA.

Die von ARINNA verwendete Wellenlängenabtasttechnik vermeidet die Notwendigkeit einer mechanischen Abtastung im Messkopf, wie sie von einigen interferometrischen Systemen verwendet wird. Dies überwindet die damit verbundenen Einschränkungen sowohl der Messgeschwindigkeit als auch der Systemintegration (z. B. die Möglichkeit einer 360-Grad-Ausrichtung des Kopfes). Für den Inline-Einsatz wurde eine patentierte Schwingungskompensation in das Design von ARINNA integriert. Diese Technik vermeidet die Notwendigkeit großer und / oder komplexer Isolationssysteme; zuweilen ein begrenzender Faktor bei der Anwendung hochpräziser optischer Messsysteme in der Praxis.

ARINNA kann diskrete Stufenhöhen und Oberflächenqualität mit einer vertikalen Auflösung von 2 nm messen. Eine Megapixel-Kamera erfasst einen Oberflächenscan in weniger als 1 Sekunde. Es kann zur Inline-Fehlererkennung und -charakterisierung, zur Messung der optischen Oberfläche und Struktur, zur Messung der 3D-Oberflächentopologie, zur MEMS / NEMS-Inspektion und mehr verwendet werden.

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