Reinraum- und temperaturgeregelte Fertigungsumgebungen

Die Herstellung ultrapräziser Maschinen und Module unterliegen streng kontrollierten Umgebungsbedingungen. Unsere hauseigenen Reinräume, temperaturgeregelten Fertigungsbereiche und modernen messtechnischen Einrichtungen schaffen die stabilen Voraussetzungen für die Produktion, Prüfung und Verifikation von ultrapräzisen Systemen für die Halbleiterindustrie sowie wissenschaftliche und industrielle Präzisionsanwendungen.

Unsere Fertigungsumgebung umfasst:

Reinräume

Umfangreiche hauseigene Reinräume der ISO-Klasse 5 oder besser für die Produktion, Integration und Prüfung unserer Maschinen und Module.

Temperaturkontrolle

Temperaturgeregelte Fertigungs- und Messumgebungen mit einer Stabilität bis zu 50 mK für reproduzierbare Montage- und Messbedingungen.

Lärmkontrolle

Schwingungsgedämpfte Umgebungen bis zur Klasse VC-E für vibrationsarme Bedingungen bei ultrapräziser Montage, Prüfung und Messtechnik

Kontaminierungskontrolle

Hauseigene Ausstattung und Fachkompetenz für Kontaminationskontrolle und Vakuumsauberkeit zur Erfüllung anspruchsvoller Reinraum- und Vakuumanforderungen.

Messinstrumente

Umfassende Messtechnik, von Laserinterferometern bis zu einer der weltweit genauesten Koordinatenmessmaschinen (KMG), für Inspektion und Verifikation.