Ob es sich um ein Upgrade einer bestehenden Maschine oder um eine völlig neue Produktlinie handelt, die Einbringung von Präzisionslösungen in Halbleiteranlagen erfordert umfassendes Know-how. Wenn Präzision ein entscheidender Faktor ist, werden auch Messstrategien unerlässlich, um den Erfolg definieren und messen zu können. Wir bei IBS haben Erfahrung in der Entwicklung für die anspruchsvollsten Anforderungen.

Trends, die wir in der Präzisions-Halbleiterindustrie angehen:

Streben nach Präzision

Miniaturisierung erfordert höhere Präzision

Steigende Komplexität

Komplexes Systemmanagement mit zunehmender Interaktion

Digital twin

Virtuelle Abbildungen realer Systeme

Qualität und Geschwindigkeit

Vom Entwurf bis zur Fertigung und Werkzeugausstattung

Streben nach Präzision

Immer kleinere Strukturen erfordern immer höhere Präzision. Unsere Expertise in der Messtechnik ermöglicht Ihnen, das nächste Level an Genauigkeit zu erreichen. Durch unser internationales Netzwerk haben wir Zugriff auf das neueste Know-how zu Designprinzipien und Materialien sowie internes Wissen über Messsysteme, von der Mikroskopie bis hin zur Interferometrie und kapazitiven Sensorik.

Steigende Komplexität

Was ursprünglich mit einem mechatronischen Systemansatz begann, hat sich zu einem komplexen Systemmanagement mit einer wachsenden Anzahl von Interaktoren und miteinander verbundenen physikalischen Phänomenen entwickelt. Die Analyse immer größerer Datenmengen, sowohl während des Konstruktionsprozesses als auch von der erstellten Maschine oder dem Modul, erfordert intelligente Methoden. Durch die höhere Präzision gewinnt die Umgebung an Bedeutung. Dies führt zu einer wachsenden Wichtigkeit der Umgebungsbedingungen, wie Temperatur oder Druck, oder der Minimierung ihrer Auswirkungen durch Vakuum. Die Sauberkeit der Umgebung oder des Bauteils ist ebenfalls entscheidend, wobei neue Konstruktionsprinzipien wie "Design for Cleanliness" zum Einsatz kommen. Maschinell erzeugte Störungen wie Vibrationen oder Temperatur spielen eine immer größere Rolle.

Digitaler Zwilling (Digital twins)

Digitale Zwillinge ermöglichen die Beschreibung komplexer Systeme durch virtuelle Modelle. Mithilfe von Simulationen können Einflüsse wie thermisches Verhalten, Strömungsdynamik und Systemdynamik analysiert werden. Koordinatensysteme und kinematische Modellierung dienen der Verbesserung der Genauigkeit in der Messtechnik. Dynamische Systemmodelle werden zur Analyse und Optimierung der Bewegungsleistung eingesetzt. Diese Modelle werden schließlich in Echtzeit-Software übertragen, die direkt in das System eingebettet ist.

Integrierte Qualität

In der Halbleiterherstellung, wo kleinste Fehler gravierende Folgen haben können, ist Qualität vom ersten Konzept an entscheidend. Bei IBS übernehmen wir nicht nur die Entwicklung des Systems, sondern auch die Fertigung und Lieferung nach Ihren Spezifikationen. Unser fundiertes Wissen über Fertigungsprozesse wird durch eine Infrastruktur mit Reinräumen der Klasse ISO 5 unterstützt. Durch die konsequente Fokussierung auf Qualität stellen wir sicher, dass nicht nur das Modul selbst Ihren Anforderungen entspricht, sondern auch die notwendigen Qualifizierungstools für eine zuverlässige Lieferkette bereitgestellt werden.

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