La technologie qui garantie un maximum de précision
Susan est une machine de mesure double face pour tranche de silicium de 300mm, qui utilise la technologie capacitive. Susan a été développé pour mesurer les wafers jusqu’à 300mm selon les caractéristiques usuelles SEMI, comme l'arc, la déformation et l'épaisseur.
Utilisant une interface mécanique constituée d’une plaque, la machine peut être également utilisée pour mesurer des tranches de 100 mm, 150 mm et 200 mm. La polyvalence de Susan lui permet de mesurer aussi bien les wafers aux bords polies que rugueux.
La structure modulaire de Susan permet l'utilisation d'un capteur optique additionnel de haute résolution, et de ce fait améliore les performances de la machine en augmentant ses fonctionnalités pour la mesure de rugosité.
Etes-vous à la recherche d’une machine polyvalente capable de mesurer des wafers de 100 mm, 150 mm et 200 mm ? IBS Precision Engineering vous propose une machine à mesurer double face, utilisant la technologie capacitive, pour les wafers de 300 mm. Cette machine à mesurer les wafers, appelée Susan est considérablement plus rapide et plus précise que les autres machines basées sur des concepts traditionnelles, cela en raison de l’utilisation des guidages aérostatiques. Elle est disponible chez IBS pour un excellent rapport qualité/prix.
Polyvalente Susan
Cette machine à mesurer les wafers a été développée pour mesurer les wafers jusqu’à 300mm selon les caractéristiques usuelles SEMI, comme l'arc, la déformation et l'épaisseur. L’utilisation d’un adaptateur permet à la machine de mesurer également les wafers de 100 mm, 150 mm et 200 mm. Grace à sa polyvalence Susan peut mesurer aussi bien les wafers aux bords polies que rugueux. Cette machine à mesurer les wafers permet également l’usage d’un capteur optique additionnel de haute résolution. Ceci augmente les performances de la machine au regard de la mesure de rugosité de surface.
Découvrez des solutions uniques de mesure
Chez IBS Precision Engineering vous découvrirez des solutions originales pour des questions uniques. La machine à mesurer les wafers peut être personnalisée pour un exemplaire unique ou pour de petites séries. Vous pouvez tabler sur une solution globale qui surpassera certainement vos attentes. En plus des machines à mesurer les wafers, nous sommes également spécialisés dans d'autres machines spéciales telles les machines à mesurer tridimensionnelle et les machines à mesurer les cylindres.
