Guidage à air préchargé au vide
Pour les applications où il est difficile, voire impossible d’effectuer un préchargement classique (avec un autre guidage), ces guidages en ajoutant le vide à la technologie matériau poreux (New Way Porous Media™) de New Way apportent la solution. Le fonctionnement est simple : le guidage préchargé reste collé à son support sans le toucher, même en position inversée (c'est-à-dire la tête en bas).
Cela est possible grâce à la combinaison pression et dépression (vide). En réglant séparément le vide et la pression, il est ainsi possible d’optimiser la distance du guidage par rapport à son support (hauteur de vol) et la rigidité des guidages préchargé au vide.
Cela représente évidemment un gain financier car une seule surface plate de guidage est suffisante (le préchargement classique, avec des guidages opposés, requiert deux surfaces plates de guidage parallèles).
Un autre avantage est que les coordonnées « x » et « y » sont supportées par un seul plan de guidage. En outre, le réglage fin de la hauteur de vol peut être utilisé pour une mise au point, un équerrage ou un positionnement vertical sub-micrométrique sur une plage de quelques micromètres.
Il faut aussi apprécier le temps de réglage rapide et un design intrinsèquement stable.
L’utilisation de des guidages rend la superposition d’axes linéaires superflue et permet de pallier les erreurs de roulis et de tangage. En réduisant la hauteur d’empilement, ils réduisent aussi les erreurs Abbe.