ISARA a été conçue comme une machine multi capteurs, cela afin de répondre aux besoins les plus larges : capteurs à contact, capteur AFM, capteur sans contact (ex. Interféromètre Linnik). Un système d’alignement permet de toujours bien régler le capteur de façon à respecter le principe d’Abbe. La vitesse de mesure est réglable de 0,01 à 10 mm/s.

Points clefs
• Outil métrologique pour la mesure 3D en résolution nanométrique des surfaces complexes et des optiques de formes libres
• Incertitude de mesure réduite à 50 (1D) dans les trois directions
• Large volume de mesure 400 x 400 x 100 mm3 
• Capacité de référencer des surfaces optiques à des références mécaniques
• Mesures entièrement traçable
• Machine multi-capteurs – porte capteur cinématique
• Guidages aérostatiques en matériau poreux permettant des mouvements réguliers, sans frottement, parfait pour le scanning 3D