Susan ist bisherigen Ausrüstungen auf dem neuesten Stand der Technik aus den folgenden Gründen überlegen:

• Das Konzept erlaubt eine deutliche Erhöhung der Messgeschwindigkeit.
• Luftgelagerte Führungen erlauben eine reibungsfreie Bewegung bei gleichzeitig hoher Steifigkeit.
• Ein innovatives und bisher in diesen Applikationen nicht verwendetes Antriebssystem verbindet eine hohe Bandbreite mit niedrigem Wartungsaufwand und der Möglichkeit zum Reinraumeinsatz.
• Das nachgerüstete System ist das erste auf dem Markt, das eine hohe laterale Auflösung mit geometrischen Messungen kombiniert.
• Durch die Rotation des Wafers wird die gesamte Waferoberfläche gemessen.
• Die Messung wird gleichzeitig auf beiden Seiten durchgeführt. Hierbei ist der Wafer senkrecht montiert, um Fehler durch die Gravitation zu vermeiden.