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Sondermaschinen: |
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| Isara 400 | Next generation ultra-precision coördinate measuring machine (2 Mb) | |||||||||||||||||
| Isara | Realization of Isara 400: a large measurement volume ultra-precision CMM (2,8 Mb) | |||||||||||||||||
| Susan | Wafer Measuring Machine Susan (596 Kb) | |||||||||||||||||
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